xps峰的高低和浓度有关,因为峰强度与元素在表面的浓度和原子灵敏度因子成正比。xps一般指x射线光电子能谱。X射线光电子能谱技术是电子材料与元器件显微分析中的一种先进分析技术,而且是和俄歇电子能谱技术配合使用的分析技术。由于它可以比俄歇电子能谱技术更准确地测量原子的内层电子束缚能,及其化学位移,所以它不但为化学研究提供分子结构和原子价态方面的信息,还能为电子材料研究提供各种化合物的元素组成和含量、 化学状态、分子结构、化学键方面的信息。
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